什么是荷電效應？

掃描電子顯微鏡主要用于樣品表面微觀形貌觀察，但在觀察樣品過程中經常由于荷電效應使得圖像異常變亮、畸變，甚至出現圖像模糊的情況，嚴重影響成像質量。

圖1固體絕緣材料的電子發射特性曲線。橫坐標為入射電子能量，縱坐標為試樣的電子產率。荷電現象可以用基爾霍夫電流定律表示，即在任一瞬時流向某一結點的電流之和等于由節點流出的電流之和。可用以下公式表達：

其中 I_p 是入射電子的電流，δI_b 是背散射電子和二次電子的電流之和，I_sc 是樣品接地電流，Q 為時間 t 內的放電電荷。